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　　低溫等離子模塊：低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之後的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、離子、原子在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
　　低溫等離子模塊：低溫等離子體降解汙染物是利用這些電子等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在很短的時間內發生分散，並發生後續的反應以達到降解汙染物的目的。（注：低溫等離子體相對於高溫等離子體而言，屬於常溫運行。）等離子體反應區含較高的物質，如電子、離子和激發態分子等，廢氣中的汙染物質和這些具有較高能量的物質發生反應，使汙染物質在很短的時間內發生分解，並發生後續的很多反應以達到降解汙染物的目的。
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